Mikrosondenanalysen

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Welche Untersuchungen können mit der vorhandenen Technik durchgeführt werden?

  1. Röntgenmikroanalytische Untersuchungen
    1. Lokal aufgelöste quantitative Röntgenmikroanalyse
    2. Röntgenspektren (energie- und wellenlängendispersiv)
    3. Elementverteilungsbilder (Mapping im Licht definierter Röntgenlinien)
      Beispiele
  2. Katodolumineszenz
    1. Lumineszenzspektren im sichtbaren Bereich (T<4<300K)
      Beispiele
    2. Räumlich aufgelöste Lumineszenz
      Beispiele
  3. EBIC-Messungen (Elektronenstrahlinduzierter Strom)
    1. Nachweis und mapping elektrischer Mikrofelder
    2. Diffusionslängenmessungen

Anforderungen an die Messproben


Beispiele für Untersuchungen an der Elektronenstrahlmikrosonde

Elementverteilungsbilder


Si Einschlüsse in einer HgTe-Oberfläche

Si-Verteilung: Klick fuer Massenspektrum Hg-Verteilung Zn-Verteilung Probe T66

      Si                   Hg                     Zn
 
 Kantenlänge der Bilder: 180 Mikrometer

HgTe-Oberfläche, die erwärmt wurde

Te-Verteilung Te-Verteilung in der Nähe eines Sputterkraters.

Hg-Verteilung Hg-Verteilung in der Nähe eines Sputterkraters.

Die Oberfläche enthält kaum Quecksilber, während im Sputterkrater das erwartete Verhältnis von Te und Hg nachgewiesen wird.
Der Sputterkrater befindet sich links im Bild
Die Anregung der Röntgenstrahlung erfolgte mit 10keV-Elektronen.
Die Kantenlänge des Bildes beträgt 180 Mikrometer, die Pixelauflösung 2 Mikrometer.


Beispiele Katodolumineszenzuntersuchungen


Katodolumineszenzspektren

Lumineszenzspektrum einer Bariumoxidkatode


Räumlich aufgelöste Katodolumineszenz

Untersuchung einer Bariumoxidkatode

Ba-Verteilung Katodolumineszenz W-Verteilung

       Ba              Lumineszenz               W
 
 Kantenlänge der Bilder: 90 Mikrometer


Autor: R. Mitdank letzte Aktualisierung: 08.11.99